半导体材料分析方法与标准

时间：2023-09-11

半导体电子元器件在生产制造过程中会遇到不同程度的化学品污染及外界干扰，例如晶圆表面会遇到本可以避免的刻蚀，以及难以去除的化合物等。英格尔半导体材料分析实验室可通过测试样品中涉及的颗粒物、金属离子、阴阳离子等化学指标达到生产测试目的。

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1.英格尔半导体材料分析实验室：

洁净化学实验室设计是一项复杂的系统工程，与其他洁净室不同，它所要求的不仅仅是颗粒物，同时还需要对**污染物、金属污染等进行管控。例如半导体先进制程工艺中使用的**纯水，**纯化学品的使用要求日益提高，材料的选择在半导体湿法工艺中越发重要，对含氟聚合物的纯度要求也越来越高。SEMI F57标准对UHP液态化学品输送系统(LCDS)中高聚合物材料和组件的选择、生产过程、产品结构设计等各方面均提出了要求和有效建议。

2.英格尔实验室测试依据：

SEMI F57用于**纯水和液态化学品输送系统的聚合物材料及组件的规范文件。标准规定了在UPW分配系统中输送**纯水(UPW)的**高纯度(UHP)聚合物材料和组件的较低性能要求。主要针对聚合物材料和组件的性能要求和验证。

国际半导体产业协会SEMI为半导体制程设备提供了一系列环境、安全和卫生方面的准则，适用于所有用于芯片制造、量测、组装和测试的设备。

3.SEMI F57标准适用的主要产品类别有：

Ⅰ. 半导体**纯水和液态化学品传送系统中的聚合物材料、组件及过程设备；

Ⅱ. 管道、配件、阀门、过滤壳体、压力传感器、流量计、计量器、校准器；（项目可写）

4.SEMI F57 测试项目4类参数：

• 阴离子污染

• 金属离子污染

• 总**碳 TOC

• 表面粗糙度

关于半导体材料洁净度检测，英格尔实验室可根据客户不同类别的化学测试项目需求，制定检出能力的综合设计方案。从多方面出发：单台结构功能设计、供排水系统、电控系统、平面设计系统等。关于半导体材料洁净度检测相关，英格尔检测实验室建议在设计时应选用适当材料，在实验室投入后可避免轻质量元素疑难等问题。

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