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M-2000系列光谱椭圆仪是为满足薄膜表征的需求而设计的。RCE技术结合了旋转补偿器椭圆仪和CCD检测,在几分之一秒内收集整个光谱(数百个波长),并有多种配置。擅长于从原位监测和过程控制到大面积均匀性绘图和通用薄膜表征的椭偏仪。光谱检测RCE设计与CCD检测兼容,可同时测量波长。光谱范围采集从紫外线到近红外的700多个波长同时采集。 适合直接连接到您的工艺室或配置在我们的桌面底座上,进行准确的椭圆
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