广州黄埔区TTM集团厂房承重检测鉴定

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    摘 要 结合液晶显示器面板制造洁净厂房的特点,对**大面积、高空间、FFU 数量巨大的电子工业洁净室工程性能参数的检测方法进行介绍和分析,以实际的检测数据对某些测试方法进行实验、对比和论证,提出适应**大面积洁室需要,提升工作效率、降低测试成本、减少检测时间,且不影响检测效果的已装空气过滤器泄漏检测方法。0 引言随着中国国内电子工业的快速发展,集成电路芯片制造和液晶显示器面板(TFT-LCD)制造的生产工厂已经建设或正在建设达数十家,高世代的TFT-LCD生产线包括8.5代生产线国内已经建成的近10条、10.5代生产线正在建设中;12英寸晶圆生产线已有多条建成投入生产。由于产品生产工艺的特点,此类生产用洁净厂房的洁净度级别要求都较高,大面积区域洁净度等级为ISO4.5级~ISO5.5级,生产部位需达到ISO2级~ISO3级(0.1μm),洁净区层高达到7.5m甚至9m,洁净区面积**大,一条8.5代生产线洁净室面积达50余万,单一洁净室面积达8万,净化空调系统为FFU+新风系统,FFU总数量有8万台左右,检测工作量巨大,测试实施难度也远**各类洁净厂房。对于**大洁净厂房的检测方法,笔者现以在这类洁净厂房的检测实践进行分析总结。


    1 **大面积洁净厂房检测参数及技术指标电子工业洁净厂房环境参数的良好与否直接影响其产品的良品率,保证洁净室静态和动态下各参数始终符合设计要求至关重要。一般来说,电子工业洁净厂房对以下参数的检测均有严格要


    如新风量、工艺排气和一般排气量、FFU风速(风量)、FFU安装后的检漏、洁净度等级、温湿度、噪声、照度、气流流型、静压差、微震、防静电等,除此之外还有**纯气体和**纯水的测试等,本文主要介绍洁净室主要参数的测试,下面以某8.5代液晶面板生产线的彩膜及成盒厂房(CF&CELL)为例,表1为CF&CELL洁净厂房的测试参数和主要技术指标,图1、图2为平面图、剖视图。2 FFU面风速测试关于FFU面风速,依照国家标准《洁净厂房施工及质量验收规范》GB 51110以及ISO 14644-3的要求,测试过滤器面风速的方法应在距滤网150 mm处采用单点风速仪或多点风速仪按滤网面积布置测试点,各点的均值为此滤网的面风速值。实际检测程中,由于液晶显示面板洁净厂房的净高很高,测试需要借助加长杆或者移动式升降机或者三层的移动井字架方可实施检测,工作效率较低,且高空作业存在一定的安全隐患,另外由于建设工期所限,测试工作量巨大但现场给予的测试时间很紧张,一旦产品生产工艺设备搬入后,将无法行走升降机或者井字架,风速测试将难以进行。鉴于此,我们将测试工作面移至上技术夹层,采用电子式风量罩测试FFU风机侧进风量,换算成滤网侧风速值,或者直接在风量罩上设置好滤网尺寸可以直接读出滤网风速。为严谨起见,我们进行了对比验证,对洁净室的不同区域抽取5台FFU,在室内用多点风速仪方法测试,以1200mm×1200mm的截面共取四点,并同时在FFU上风侧的上技术夹层的风机侧用风量罩直接测量,读取数据,测试数据对比见表2。从表2中数据比较测试偏差都在3%以内,未**过风量罩和多点风速仪测试的系统误差,表明在FFU风机侧测量进风风量后换算成FFU出风风速的方法是可行的。图3是多点风速仪测试现场照片,图4在FFU上风侧采用风量罩测试照片。


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