【十万级净化车间】十万级净化车间标准如何衡量

时间：2021-06-03

作者：郑州栀子净化工程有限公司

一．尘粒

尘粒是细菌、病毒的良好载体，所以十万级净化车间工程的首要任务便是"除尘"。

1.在十万级净化车间中，尘粒较大允许数≥0.5微米的粒子数不允许**过350万个；

2.≥5微米的粒子数不可以**过2万个。

二．微生物

1.微生物跟尘粒一样，也有较大允许数。要求浮游菌数不**过500个/m³；

2.沉降菌数不**过10个/培养皿。

压差

这里根据洁净度等级分2种情况：

1.相同洁净度等级的洁净室，压差需要保持一致；

2.不同洁净等级的洁净室，相邻洁净室之间压差要≥5Pa，洁净室与非洁净室之间要≥10Pa（这里主要是为了**空气从洁净区流向非洁净区，避免气流倒灌）。

词条
词条说明
【十万级无尘车间】洁净室气流组织考虑原则
（1）当产品要求洁净度为100级时，选用层流流型；当产品要求洁净度为1000~100000级时，选用乱流流型。（2）减少涡流，避免把工作区以外的污染物带入工作区。（3）为了防止灰尘的二次飞扬，气流速度不能过大。乱流洁净室的回风口不应设在工作区的上部。宜在地板上或侧墙下部均匀布置回风口。（4）工作区的气流应均匀，流速必须满足工艺和卫生的要求；洁净气流应
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洁净室主要之作用在于控制产品（如硅芯片等）所接触之大气的洁净度日及温湿度，使产品能在一个良好之环境空间中生产、制造，此空间我们称之为洁净室。按照国际惯例，无尘净化级别主要是根据每立方米空气中粒子直径大于划分标准的粒子数量来规定。也就是说所谓无尘并非**没有一点灰尘，而是控制在一个非常微量的单位上。当然这个标准中符合灰尘标准的颗粒相对于我们常见的灰尘已经是小的微乎其微，但是对于光学构造而言，哪怕
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