洁净室内的空气中悬浮粒子浓度、微生物限度、气载分子污染物浓度、温度、湿度、风速、压力、防静电、噪声、气流流型、照度、防微振等应按工艺要求控制。
洁净室主要应包括围护结构、净化空调、工艺管道、电气与自动监控、给排水、消防设施等系统。
洁净室的建设、使用和拆除不应对人员职业健康安全和环境产生危害。
在满足工艺要求的前提下,洁净室的设计应符合节能要求,并应具有地区适宜性。
当洁净室设有命安全系统、事故排风系统、紧急淋浴和洗眼器等安全设施时,与洁净室同时设计、同时施工、同时投入生产和使用。
洁净室内的废水、废气、废液、固体废弃物应分类收集或处理,处理后应达到排放标准,并应进行监测和留存原始监测记录。
洁净室应布置在大气含尘和有害气体浓度较低的区域。
有防微振要求的洁净室,不应选择有强振源的区域,当不能避开时,应采取隔振措施。
与洁净室无关的管道,不应明设在洁净室内。
布置在洁净室内的风管、管道、管线和线槽、桥架等,应符合下列规定:
1 表面应平整光滑,并不得产尘及散发对产品工艺生产有影响的挥发物;
2穿越墙体、吊、楼板时应设置套管,管道接口、焊缝不得设在套管内。套管与管道之间的间隙应采用不燃,不易吸尘材料密封填实,并不得对洁净室环境产生影响。
性能要求
洁净室内悬浮粒子空气洁净度整数等级应符合下表规定
洁净室空气洁净度整数等级
备注:
1.按不同的测量方法,各等级水平的浓度数据的有效数字不应过3位;
2.当工艺要求粒径不只一个时,相邻两粒径中的大者与小者之比不得小于1.5倍;
3.个/m³:表示每立方米空气中的尘埃粒子颗粒数;
4.洁净室除外。
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词条
词条说明
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