常州市SEM微观形貌测试 EDS未知物成分

    SEM微观形貌测试 EDS未知物成分

    EM+EDS测试原理:
    SEM:利用阴极所发射的电子束经阳极加速,由磁透镜加速后形成一束直径为几十埃到几千埃的电子束流,这束高能电子束轰击到样品表面会激发多种信息,经过分别收集,放大就能从显示屏上得到各种相应的图像。
    EDS: 入射电子束可停留在被观察区域上的任何位置.X射线在直径1微米的体积内产生,可对试样表面元素的分布进行质和量的分析。
    主要
    1.表面微观结构观察及微小颗粒物尺寸量测(可达3nm的解析度);
    2.微薄镀层厚度测量(良好的前处理,可测量0.18nm甚至更低膜厚);
    3.表面失效分析(污染、异色、腐蚀、损伤等);
    4.表面相分析、夹杂物鉴别等;
    5.金属断口分析;
    6.焊接或合成界面分析;
    7.锡须观察。
    参考标准:
    GB/T 17359-1998电子探针和扫描电镜X射线能谱定量分析通则
    GB/T 16594-1996微米级长度的扫描电镜测量
    JY/T 010-1996分析型扫描电子显微镜方法通则
    JESD-22a121.01测量锡和锡合金材料表面晶须生长的测试方法

    场扫描电镜对样品要求

    样品要尽可能干燥,若样品中含有水份,水分挥发会造成仓内真空度急剧下降,导致图像漂移,有白色条纹,甚至会影响灯丝寿命;

    热稳定性好,热稳定性差的样品往往在电子束的轰击下分解,释放气体和其他物质,污染电镜;

    导电性好,导电性差的样品会发生荷电效应,造成图像畸变,亮点亮线,像散等;

    不含强磁性,强磁性的样品观察一般会出现严重的像散,无法消去,磁性粉末如果粘的不牢固还可能会吸附到探头上,损害电镜。


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