XP-703D半导体特气检漏仪,半导体特气检漏仪,特气检漏仪

XP-703D半导体特气检漏仪性能参数 ﹡较适合于检测半导体特气的微量泄漏。 ﹡采用声光报警。 型号 XP-703D 检测对象气体 半导体材料气体等） 检测原理 线型半导体式 采样方式 自动吸引式 可检测浓度 （单位：ppm） AsH3 PH3 B2H6 SiH4 H2 0.2 0.3 0.1 0.5 1.0 检测表示 蜂鸣器断续鸣响及指示灯闪烁 应答速度 10秒以内