FFU
FFU风机滤网机组(Fan-Filter Unit, FFU)是一种结合送风机与高效滤过滤器 (HEPA/ULPA)的气流循环与过滤设备,目前大量的使用于各类无尘室中,做为无尘室二次 侧循环过滤系统的主要设备,同时也是整个无尘室气流处理的终端设备。 FFU风机滤网机组的使用大概始于1980年代,到1990年代几乎新建的无尘室(特别是 亚太地区